二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9213312 待售

KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一種晶圓測試和計量設備，設計用於測量晶圓在納米尺度上的電性能，使半導體制造過程的精確分析成為可能。它配備了先進的光學和電氣計量能力，使其能夠檢測表面缺陷，追蹤汙染物，測量表面粗糙度和薄膜厚度。6220具有由六個CCD攝像機組成的高度敏感的光學子系統。通過改變LED光源,攝像機能夠捕捉樣品和樣品表面之間的不同對比。這使得系統能夠檢測到傳統光學計量方法無法檢測到的亞微米形狀和地下缺陷。攝像機還能夠從樣品表面的完整360⁰視圖中收集數據，從而提高了分析的速度和準確性。6220還具有利用自動懸臂梁測量（ACBM）技術的專有電氣子系統。這使得它能夠測量表面地形的納米級變化，通過檢測電信號的精度亞皮米，因為他們通過晶圓表面。該裝置還配備了多分路技術，通過從每個測量點收集更大範圍的數據，提高了準確性和吞吐量。此外,6220還包含一個專有軟件包,允許用戶根據自己的特定需求創建定制的計量程序。此軟件包為用戶提供了廣泛的功能,例如數據分析和數據可視化工具,以及自動報告功能。軟件還具有可追蹤性功能,使用戶能夠跟蹤樣本的數量和特性。結合6220的光學、電氣和軟件功能,使其能夠精確分析和測量納米尺度上的晶圓基板。機器先進的計量特性使用戶能夠在短時間內檢測到小規模的表面缺陷並獲得精確的測量，使其成為半導體制造商的理想選擇。