二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9213911 待售

KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一款專門為滿足半導體制造和研發行業需求而設計的晶圓測試和計量設備，使用戶能夠快速準確地識別晶圓上潛在的工藝和材料問題。該系統結合了最佳的光學和基於接觸的計量技術,提供先進的晶圓表面成像功能,使用戶能夠測量和識別到納米級的特征。KLA 6220 Surfscan可用於在廣泛的過程中檢查晶圓地形，如光刻、拋光處理、反射測量、蝕刻和旋轉塗層。它擁有專利的二維掃描技術，利用低功率、固定波長的激光器從照明區域捕獲圖像數據，然後處理這些信息來識別被測試晶圓的表面特征。TENCOR 6220 Surfscan可以在一次掃描中測量樣品的粗糙度和輪廓,提供多種參數類型的數據,如特征大小、形狀、紋理和深度。6220 Surfscan具有符合10級潔凈室環境的集成視覺單元（IVS）,可確保無汙染操作環境並提供最大吞吐量。這臺機器是通過可選的KLT-1617獨立的基於Windows的觸摸屏軟件操作的,該軟件提供實時反饋,並提供對一系列自動測量功能的訪問。KLA/TENCOR 6220 Surfscan為用戶提供了一系列優勢,包括提高可靠性、加快測量速度和提高準確性。其先進的測量技術使其能夠檢測晶圓上的電磁幹擾，使其成為識別缺陷的寶貴工具。KLA 6220 Surfscan也是高度模塊化和可升級的，允許用戶根據需要添加額外的組件，如反射計、顯微鏡或熒光系統。綜上所述，TENCOR 6220 Surfscan是一款先進的高性能晶片測試和計量工具，為用戶提供快速準確識別特征的能力，具有可靠的操作和模塊化，以滿足半導體制造和研發行業的具體需求。