二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9222541 待售

KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一種用於半導體器件生產的晶圓測試和計量設備。它用於測量半導體晶片的電性能和物理性質，如表面地形、表面平面度、光掩模和晶片對準、覆蓋精度、缺陷尺寸、汙染等。該系統包括：光學模塊；圖像處理和分析模塊；掃描階段；以及基於Web的用戶界面。Surfscan 6220光學模塊利用CCD相機測量晶圓的表面輪廓和系數。該單元提供了一個自動校準例程,以提供準確的結果,並且內置的自動對焦功能使表面保持對焦狀態,以獲得準確的讀數。圖像處理模塊使用高級圖像處理算法來檢測、分類和測量晶圓上的表面缺陷。自動缺陷檢測算法可以檢測小到幾納米的特征，可以檢測顆粒、劃痕等等。Surfscan 6220掃描階段提供了高精度的晶圓掃描。它有一個300 mm x 300 mm的平臺，帶有電動Z軸，允許最佳的表面操控。掃描儀將晶片與CCD攝像機精確對準，確保結果一致準確。基於Web的用戶界面為用戶提供了一種可訪問的直觀方式來與工具交互。用戶可以創建和存儲掃描配置文件,以便在需要時輕松訪問,還可以執行校準、運行掃描會話以及訪問日誌和設置信息等任務。KLA Surfscan 6220晶片測試和計量資產為測量和檢查半導體晶片提供了可靠、經濟高效的方法。它非常準確、易於使用,並提供了一套豐富的功能來提供最佳性能。