二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9223462 待售

KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一款自動化、高精度的晶圓測試和計量設備，提供強大、可重復、準確的結果，達到質量控制和晶圓生產的最高標準。它是為半導體、MEMS和光伏應用在研發和大批量生產環境中設計的。具體來說，Surfscan 6220系統可以測量晶圓的平坦度、晶圓的經度以及晶圓上模具的臨界尺寸。它還為過程控制、單元表征、故障分析和設計/過程優化提供關鍵報告和數據。Surfscan機器由視覺工具、舞臺和晶圓處理程序組成。視覺資產包括一個強大的基於CCD激光反射的自動對焦單元和一個健壯的缺陷檢測算法，以確保測量高度準確和可重復。該級由先進的反饋地形和高分辨率光學傳感器組成，而晶圓處理程序則通過快速加載、卸載和自動將基板從視覺模型移動到舞臺來提供快速的測量時間。要使用設備，首先將晶片裝入處理程序並放入視覺系統。經過自動對焦和檢測過程，晶圓被放置在舞臺上，在舞臺上用相幹光源進行掃描。反射光被收集並清洗，以便進一步分析。在采集數據時，運用算法對平面度、扭曲度等關鍵參數進行分析。測量結果收集在一份報告中，其中包含晶圓地形、臨界尺寸和其他重要晶圓特性。此外，維護和校準程序是自動化的，以提高結果的一致性。總體而言，KLA/Tencore KLA 6220 Surfscan為用戶提供了功能強大且可重復的晶圓測試和計量數據，以滿足最高的質量控制要求。它可靠、準確、易於使用，是任何晶圓生產線的絕佳補充。