二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9249955 待售

KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一種多功能晶圓測試和計量設備，設計用於先進的半導體制造工藝。該系統能夠高精度、高可靠性地測量晶圓元件的物理、電氣和光學參數。該單元配備了各種工具來分析每個晶片的表面，如光學剖面儀、電壓傳感器、光學顯微鏡、光學反射分光光度計和原子力顯微鏡（AFM）。這樣可以確保以更好的分辨率對晶片的組件進行更精確的評估。光學剖面儀能夠以極高的精度快速準確地測量表面特征,包括表面臺階、粒子和非均勻性。它還提供了廣泛的分析能力，如信號互相關和快速傅立葉變換（FFT）的測量數據。電壓傳感器允許用戶通過向組件施加電壓和測量產生的電流來測量晶圓組件的電性能。這提供了有關設備電氣組件行為的寶貴數據,使用戶能夠表征其性能。光學顯微鏡用於觀察晶片組件的微小特征，如缺陷或汙染，放大倍數為10倍。該機的光學反射分光光度計用於測量表面特性和缺陷，提供了高精度的結果。一個應用特定集成電路（ASIC）可以用來測試數字電路作為計量過程的一部分。最後，該工具配備了AFM，它依靠強大的力場來測量和表征晶圓表面上的各個特征。這項技術可以提供晶圓表面振蕩以及表面粗糙度和結構的詳細圖像。總而言之，KLA 6220 Surfscan將最新的晶片測試和計量技術結合到一個單元中，讓用戶能夠準確快速地分析其晶片組件的物理、電氣和光學特性。其精確度和多功能性使其成為半導體制造領域的寶貴工具。