二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9256450 待售

KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一種最先進的晶片測試和計量設備，用於評估和測量半導體晶片在生產過程中的電氣、物理和光學特性。該系統旨在對矽片和IC上的關鍵參數進行敏感、準確和可重復的測量。KLA 6220 Surfscan利用基於激光的非接觸式光學幹涉測量，使其能夠產生可重復分辨率小於0.5nm的精確測量。該單元配備了先進的軟件和實時數據分析能力，使數據和結果能夠以全面的圖形格式呈現。機器還可以用來進行多參數測量，允許用戶評估設備或晶圓的整體質量。該工具能夠測試各種特征、缺陷類型、表面粗糙度和平坦度、應力、應變、層間距、蝕刻深度、傾斜度和階梯高度。它還具有高分辨率立體攝像機，以便能夠識別和檢查表面特征如微塵、圖樣缺陷和劃痕。此外，該資產還配備了非接觸式光學探針，可在納米精度水平下測量電容、泄漏、片狀電阻率和電阻率值。TENCOR 6220 Surfscan可以手動或自動模式操作。在自動化模式下，操作員能夠設置和編程自定義測試序列，從而使所有測試運行在相同的基線設置上完成。這有助於確保從運行到運行都可重復和一致的晶圓測試。用戶還可以設置安全參數，在測試過程中保持安全的功率水平。該模型與最流行的半導體制造軟件和數據庫程序兼容，可以與現有晶圓處理設備集成。這使得現有的晶圓生產線很容易過渡到6220 Surfscan。它直觀、用戶友好的界面使用戶能夠快速熟練掌握設備，而其先進的工程和監控功能則可以實現高效可靠的操作。KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一種功能強大的晶片測試和計量系統，能夠準確可靠地測量矽片和IC的臨界特性。它的靈活性和先進的軟件使其能夠與最流行的半導體制造軟件集成，並具有可以快速掌握的直觀和用戶友好的操作。