二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9371741 待售

KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一種晶圓測試和計量設備，設計用於提供高分辨率的2-D計量和缺陷檢測。它能夠在裸晶片和圖案化晶片上進行全面的測量，以進行精確的對準和汙染檢測。該系統包括一個集成的晶圓處理子系統、掃描頭模塊和一個觸覺表面成像軟件包。晶圓處理子系統的設計是針對SurfScan的光學元件提供晶圓表面的精確運動控制。它還能夠自動將晶片送入和移動到工作表面上。掃描頭模塊由一個CCD相機、激光源和一個配備步進電機的光學單元組成，當晶片在工作表面移動時可以掃描晶片。這使得機器能夠獲取晶圓的圖像進行分析。CCD相機的分辨率為1000 nm,能夠獲取視野最大為34 mm的圖像。激光源波長為1060 nm，功率輸出為200 W，步進電機能夠在650 x 650 nm的階段實現亞微米精度，允許高分辨率圖像。SurfScan還包括一個觸覺表面成像軟件包,能夠從獲取的圖像中提取表面和地下信息。這是通過測量表面粗糙度和缺陷地形、晶圓平整度和弓形以及表面汙染來完成的。軟件包還包括執行缺陷檢查、處理和分析的各種工具。此外,該工具還能夠在亮場和暗場照明中捕捉圖像。這使得資產能夠檢測到各種缺陷，如芯片、劃痕、顆粒、邊緣碎裂和凹坑。該型號符合包括SEMI 300-02和MIL-STD-883在內的行業標準。KLA 6220 Surfscan是一種先進的晶片測試和計量設備，能夠對晶片進行高效、準確的檢查、測試和分析。該系統具有高分辨率、精確對準和缺陷檢測能力，能夠對各類晶片樣品進行快速、準確的分析。