二手 KLA / TENCOR 6300 #9394711 待售

KLA/TENCOR 6300晶圓測試和計量設備用於半導體制造商測量晶圓的各種物理性質。它是一種提供多種晶圓測試和測量功能的高精度工具。KLA 6300系統利用了兩個集成子系統。第一種是模模成像能力，使用戶可以同時測量晶圓的2D和3D地形，第二種是高分辨率光譜橢圓儀，可以測量包括光吸收、折射率、表面粗糙度在內的多種物理性質。TENCOR 6300單元的成像功能用於捕獲納米空間分辨率水平內的2D圖像或視頻信息。這允許捕獲和分析通常肉眼看不到的高級別細節。機器還具有捕獲晶片3D圖像的能力，從而能夠精確測量厚度、步高和其他臨界層特性。6300工具的光譜橢圓偏光計能力包括測量晶片在250至2,500 nm頻率範圍內的反射率和吸收率等光學特性的能力。這有助於確定晶片的厚度、折射率和薄膜厚度。KLA/TENCOR 6300還提供了一系列的測量技術，包括固定或可變角度測量、偏振操縱和高速測量，提供準確和可重復的結果。除了這些功能外,KLA 6300還具有強大的數據管理功能,使用戶能夠訪問和分析來自不同系統的數據,以用戶定義的方式存儲信息,並輕松創建自定義報告。這有助於簡化晶圓測試過程並提高整體效率。TENCOR 6300是半導體制造質量控制的絕佳工具，適用於研究和串聯過程控制應用。6300的可靠性、準確性和數據管理能力使其成為晶圓測試和計量應用的理想儀器。