二手 KLA / TENCOR 6400 Surfscan #192510 待售

KLA/TENCOR 6400 Surfscan Equipment是一種高精度晶圓測試和計量系統，用於半導體、MEMS、光子學、太陽能電池等多種基於晶圓的應用。該裝置能夠測試尺寸可達50厘米的0.2 µm的特征,其設計目的是測量各種特征,包括臺階、平面、邊緣、地形、蝕刻、沈積、腐蝕等。KLA 6400 Surfscan機利用三個主要組件對試樣進行測量和分析：傳感器、監視器和舞臺。傳感器是一種高分辨率幹涉儀，允許使用標準顯微鏡無法進行的各種測量。當幹涉儀掃描樣品時,顯示器會以圖形方式顯示樣品。該平臺是一個機動化的可編程平臺，能夠傾斜、旋轉和移動樣品表面，以滿足特定的測試要求。該工具還包括一個軟件包，允許用戶為自定義和可重復性設計自動設置。此軟件允許用戶選擇測試參數以及要收集的圖像和數據的類型。該程序還具有內置的安全功能,允許用戶保護其測試結果免受未經授權的訪問。該資產是為實現極高的準確性和可重復性而構建的,並配有一個集成的環境安全模型,該模型將溫度、濕度、振動和其他環境因素保持在恒定水平,以便即使在最具挑戰性的生產環境中也能保持一致的結果。該設備還具有廣泛的校準功能,使用戶能夠單獨手動校準每個參數,從而使他們能夠設置與測試的確切要求相匹配的特定參數。總體而言，TENCOR 6400沖浪掃描系統是一種用於精密晶圓測試和計量的有效、可靠的設備。它結合了先進的硬件、軟件、安全性和校準功能,使其成為任何環境的理想選擇,而在任何環境中,準確和可重復的測試都是必不可少的。