二手 KLA / TENCOR 6400 Surfscan #9155219 待售

KLA/TENCOR 6400 Surfscan是一種測量晶圓表面的高精度工具。它利用專利的幹涉非接觸式剖面儀（INC）來測量晶片上的表面特征，如地形和尺寸信息。INC是其最先進的快速準確測量納米缺陷的技術。KLA 6400 Surfscan設計用於大批量生產線。它采用高速、雙區域掃描設備，提高吞吐量，減少復試時間。雙區系統有一個7µm檢測器設計用於檢測晶圓上的早期缺陷，還有一個1µm檢測器設計用於測量更精確的表面特征。它能夠以300 mm/min的速度掃描晶片,並以每毫米200個數據點的速度捕獲數據。TENCOR 6400 Surfscan還具有多種計量工具。其中包括高速粒子計量單元、低對比度粒子計量機、地形計量工具、3D表面計量資產和粗糙度計量模型。所有這些系統都可以測量各種類型的晶片，包括石英、鋁和塑料晶片。6400 Surfscan還具有多項其他功能。它采用自動校準和對準設備進行設計,可確保上下表面的完美對準。它還有一個ER-2000的高級處理系統，可以對KLA/TENCOR 6400 Surfscan收集的數據進行數據分析和控制。KLA 6400 Surfscan具有使晶圓測試和計量更容易、更快的功能。它是需要精確高效的晶圓測試和計量工具的半導體公司的理想工具。憑借其精確度和特點,TENCOR 6400 Surfscan是一種高度可靠的工具,可用於輕松、精確地測量表面特征。