二手 KLA / TENCOR 6400 Surfscan #9179617 待售

KLA/TENCOR 6400 Surfscan是一個先進的晶圓測試和計量系統，旨在為制造商和服務提供商提供對晶圓制造的強大而準確的分析。產品專為半導體、微電子、光電工業內的晶圓加工而設計。KLA 6400 Surfscan能夠執行高速、高精度的2D和3D計量測量,這對於確保關鍵制造過程的準確性和效率至關重要。TENCOR 6400 Surfscan提供了廣泛的功能,如晶圓平面度、工藝非均勻性、層剪切和特征輪廓計量。它配備了十幾個先進的光學和成像子系統，所有這些子系統共同努力，精確測量晶圓上的特征。先進的激光掃描儀能夠獲得0.015微米大小的特性。Surfscan能夠測量各種晶圓尺寸,從150毫米到300毫米。它還能夠適應不同的要求，例如用於快速計量處理的並行檢測系統。6400連接到高級軟件套件和工業PC,可以快速輕松地下載和設置數據。高級檢查功能包括臨界尺寸（CD）、叠加測量和傾斜和扭曲分析。6400配備了用於控制晶圓溫度的高分辨率加熱器，確保各種尺寸的重復和準確測量。最近的改進還使6400能夠檢測到微米級別的缺陷,這比上一代產品有了顯著的改進。總的來說，6400 Surfscan是尋求完整、準確晶圓評估系統的現代制造和服務提供商的理想解決方案。其先進的功能集、高精度和全面的軟件套件使其成為任何需要精確測量的制造過程的最佳選擇。