二手 KLA / TENCOR 6400 Surfscan #9180164 待售

KLA/TENCOR 6400 Surfscan是一種先進的晶圓測試和計量系統，旨在測量、限定和調試半導體行業中的晶圓過程。它是用於水平和垂直應用以及前後表面成像的多功能工具。標準版的Surfscan 6400配備了多種計量能力，都是為了提高生產晶片的產量以及提高質量而設計的。這包括用於測量表面地形和特征形狀的光學散射法，以及用於測量薄膜厚度和隨時間變化的三維光學幹涉法。此外，光學散射法還具有垂直掃描儀和高分辨率相機，可用於識別和表征各種表面缺陷。Surfscan 6400還提供了多種自動化報告功能,可幫助縮短分析時間並提高工作效率。這些報告可用於將晶片與指定標準進行比較，並為一個生產批次提供全面的「健康圖」。還可以使用高級自動化審查軟件來加快散射測量和幹涉測量檢查數據的審查過程，這可以大大減少設置時間和混淆。Surfscan 6400具有幾項新的增強功能,可擴展晶圓計量的性能。其中包括同時測量表面地形和入射角變化的雙光散射法；濕蝕刻剖面圖，用於測量屏障層和其他蝕刻工藝參數；棱鏡剖面圖，可以測量透明電介質中的層厚度；以及智能模塊設計,可通過更小的占用空間提供更高的吞吐量。Surfscan 6400還提供了自定義工具設置的功能,以適應多種基板格式,如凹凸檢查、步高檢查和輪廓掃描。它還具有卓越的掃描速度和較低的設置時間,同時使用戶能夠在一小部分時間內準確高效地識別流程問題。總體而言,KLA 6400 Surfscan是一個出色的晶圓測試和計量系統,可為各種應用程序提供高速、可靠的數據和高級定制功能。這使用戶能夠快速準確地診斷流程問題,以提高晶圓性能並減少停機時間。