二手 KLA / TENCOR 6400 Surfscan #9202541 待售

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KLA / TENCOR 6400 Surfscan
已售出
ID: 9202541
Defect inspection system.
KLA/TENCOR 6400 Surfscan是一款晶圓測試和計量設備,設計用於廣泛的計量應用。這個功能強大的系統旨在拍攝晶圓的高分辨率圖像,為工程師提供對其表面的深入、詳細的分析。KLA 6400 Surfscan允許同時測試幾種不同類型的測試應用,如粗糙度、厚度測量、表面缺陷、顆粒汙染和表面地形。該單元使用自動聚焦和階段校正,以確保在每個晶圓測試中精確的可重復測量。6400有一臺10倍的光學機器,可以檢查高達915毫米的大型晶片,分辨率降至1微米。它還具有可調節的3D聚焦機制,以改進自動聚焦。6400具有集成的視覺感測工具和高速晶圓處理程序,可自動執行缺陷分析、模式識別和其他需要自動檢查的測量。它還具有多種圖像調整和增強功能,如各種檢測算法、頻譜分析、特征提取、自相關和一系列後處理工具。該資產配備了一個完全集成的缺陷管理數據庫,可以存儲缺陷數據,有助於分析和缺陷調試。它還可以分析來自每個晶片的多個數據集,包括多個橫截面,提供對樣本的全面觀察。TENCOR 6400 Surfscan是市場上最先進的計量系統之一。它專為晶圓計量而設計,在測試中提供無與倫比的可靠性和靈活性。此模型非常適合晶圓制造商,因為它允許他們以更高的效率測試產品,並具有準確的結果,同時仍保持較高的安全性。6400 Surfscan是晶圓測試領域的寶貴工具,為工程師提供詳細可靠的數據。
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