二手 KLA / TENCOR 6400 Surfscan #9277849 待售

KLA/TENCOR 6400 Surfscan是一種晶圓測試和計量設備，旨在提供高精度的測量和準確的結果。它采用了最新的自動光刻對準技術，能夠測量到0.2nm的分辨率。該系統的工作面積為16x200mm,最多可容納四個光柵以同時測量整個晶圓。它是蝕刻前和蝕刻後計量測量的理想選擇，可以對缺陷和晶圓質量進行深入分析。KLA 6400 Surfscan是一種高度自動化的工具,非常適合缺陷分析和計量應用。它以最小的操作員工作量提供快速和準確的測量。該單元使用先進的光學技術來測量光圈和輪廓，並使用創新的快速掃描運動模塊來最小化掃描時間。該機還采用集成晶圓控制工具，以確保晶圓工作流程一致。除了自動化功能外,該資產還具有創新的直觀圖形用戶界面。這使得即使是最缺乏經驗的用戶，操作也變得簡單易行。所有測量都存儲在一個專用的數據區域中,這使得以後可以輕松檢索以進行數據分析。TENCOR 6400 Surfscan還提供了IO/Data端口,該端口允許將測量值傳輸到其他設備以進行進一步分析。6400 Surfscan是用於缺陷檢測和計量應用的可靠、精確的工具。它具有先進的光學設計、精確的測量和易於使用的設計，是自動化測試和計量的絕佳選擇。該模型旨在以最小的操作員幹預來提供高精度的結果，同時也確保晶圓工作流的一致性。