二手 KLA / TENCOR 6400 Surfscan #9358232 待售

KLA/TENCOR 6400 Surfscan是一種晶圓測試和計量設備，用於評估質量並在集成電路表面上進行各種自動化測試。該系統旨在提供與各種材料、格式和設備類型的最大兼容性。來自KLA的KLA 6400 Surfscan單元提供三種主要操作模式：「主動掃描」、「待機監控」和「激光靜音」。主動掃描模式用於提供有關表面缺陷的詳細信息,而「待機監控」用於持續的後臺測試,提供所有晶圓內容和設備尺寸的最佳檢測吞吐量。激光靜音模式用於延長測試時間，無需維持連續激光束。該機在缺陷定位和審查、表面地形和高級模式分析等方面具有多種計量能力。它的「模式過濾器」是一套軟件工具,旨在利用該工具的大分辨率掃描,從而產生高缺陷檢測靈敏度和細化缺陷計數的能力。TENCOR 6400 Surfscan還具有多種成像算法。這些算法結合起來執行高度精確的地形測量和圖像分析，從而為評估表面特性提供了強大的工具。資產還提供了高級跟蹤功能,用戶可以在總體「趨勢」分析中查看單個缺陷及其位置的測量結果。自動校準例程嵌入在模型中,以確保快速、可靠和可重復的測量。6400 Surfscan是一款非常可靠的設備，具有機械先進的激光沖擊防護（LSP）系統和精確穩定的顯微鏡級。據報道，這種裝置可以輕松地處理各種基板，從2英寸圓形到12.5英寸方形，並提供從納米級到微米級的廣泛動態測量。總體而言,KLA/TENCOR 6400 Surfscan是一款用途廣泛、功能強大的晶圓測試和計量機器,旨在實現最大的兼容性和準確性。它提供了多種成像和測量功能,以及精確穩定的階段和先進的LSP工具,以提高準確性和可靠性。