二手 KLA / TENCOR 6420 #293609510 待售

KLA/TENCOR 6420是一種下一代晶圓測試和計量設備，設計用於在整個晶圓表面提供完整的非接觸維數檢查，提高精度。該系統針對大批量生產性能進行了優化，支持最新的晶圓直徑。它具有專有的經過校準的成像檢測器,可提供真正的串聯地形成像,從而實現高度精確的工藝產量分析。KLA 6420采用模塊化設計,簡化了安裝和維護。它具有強大的單面訪問平臺,與傳統的雙面訪問系統相比,它減少了占用空間要求。可選的交流電動級可確保卓越的動態對準,並允許更高的加速度和更快的吞吐量。該級具有先進的光學編碼器單元和納米分辨率，在整個晶圓中提供高度精確和可重現的對準和測量值。TENCOR 6420還融合了高效成像機，其中包括先進的智能傳感器前端和數字信號處理。這可以實現快速、準確、全場的圖像捕獲,分辨率降至亞微米級。成像工具提供雙同時對齊，使用戶無需等待一張地圖完成成形就可以將全晶片表面映射到像素水平。為進一步提高測量精度和產量，6420采用了專有的原位光學計量技術，稱為AugerScan™，利用螺旋電子檢測三維表面特征。AugerScan技術還用於確定可重復性高於0.01 ppm的工藝產量。結合其先進的圖像處理,該資產能夠實現卓越的過程表征和故障分析.6520配備了一套用於數據存儲和處理的高級軟件工具。它提供了詳細的測量審查，完整的圖形顯示和全面的分析全面收益管理。該模型還提供了從任何聯網PC的完全遠程訪問,允許用戶從任何位置監視測量值和性能數據。KLA/TENCOR 6420是尋找可靠、高性能的測試和計量設備的半導體制造商和設施的理想解決方案。該系統具有先進的成像和傳感能力、高精度和可重復測量,可提供快速可靠的工藝產量分析和缺陷識別。總體而言，KLA 6420是晶圓測試和計量需求的理想單元。