二手 KLA / TENCOR 6420 #293656103 待售

KLA/TENCOR 6420是一種先進的晶圓測試和計量設備，最多可並行分析8個晶圓。它具有光學幹涉測量、共聚焦顯微鏡和其他成像技術的超高分辨率組合。系統只需幾分鐘就能以高精度測量單個器件的多個參數或單個晶片上的多個結構。晶圓測試和計量單元包括一個高精度、三維的幹涉儀，用於測量表面地形和光學薄膜厚度。該機器還具有雙重檢測器，在分析晶圓上可能存在的各種不同結構時具有極大的靈活性。它可以測量電阻率、臨界尺寸厚度等特征。KLA 6420上的工具還提供了一套功能強大的數據分析功能,可幫助識別多維度的結構、電氣和光刻缺陷特征。它能夠提取層高和側壁角度信息，峰谷分析，計算曲率和粗糙度。它還配備了脈沖同步檢測技術，允許從多種結構中同時獲取多個地形測量參數。TENCOR 6420還擁有復雜的圖形用戶界面,簡化了數據采集過程。它可以同時運行多個晶圓測試,同時顯示數據、圖形和所做測量的圖像。該工具還提供了多種不同的軟件包，例如用於生成CMP（化學機械拋光）地圖的軟件，可以用來分析整個晶圓表面的平面度。6420功能強大,用途廣泛,是頂級的晶圓測試和計量資產,可提供跨多個測試參數的準確可靠的數據,使生產工程師和研發人員能夠輕松地快速識別設備或結構缺陷。