二手 KLA / TENCOR 7200 Surfscan #293626871 待售

KLA/TENCOR 7200 Surfscan是一種晶圓測試和計量設備，設計用於以無與倫比的精度和分辨率檢查半導體晶圓的缺陷。該系統采用先進的激光和光學技術來確保最高等級的測量。KLA 7200 Surfscan利用三大類技術獲得精確計量：激光掃描、成像和幹涉測量。其激光掃描測量能力利用飛行光學時間和激光掃描顯微鏡精確測量高度、表面傾斜度等分辨率為2.5納米的器件地形特征。其成像特征使用高分辨率反射顯微鏡和暗場成像來檢測納米尺度的缺陷。其幹涉測量技術測量測量的幹涉條紋與參考晶片產生的理論條紋之間的偏差，這將檢測設備輪廓中的任何細微偏差。TENCOR 7200 Surfscan是一款健壯的晶片缺陷分析儀,可提供高達每小時1,200個晶片的高速數據采集速度,用於大面積映射和缺陷檢測。它還具有低配電（2.6 kW）和環境穩定性，從校準溫度30攝氏度到80攝氏度。7200 Surfscan直觀的用戶界面使得配置、分析和比較測試結果變得輕松。該單元非常適合驗證設備的質量或過程改進的有效性,以及過程控制,包括在線產量管理、過程質量保證和產品選擇。KLA/TENCOR 7200 Surfscan能夠提供非常詳細的質量保證信息,檢測器件薄膜的粗細特征,如光電器件的地下缺陷和非均勻性。該機器支持打印和交互式分析,允許用戶快速識別和解決生產問題。KLA 7200 Surfscan提供用於中高容量測試和計量的單個軟件包。其激光掃描能力使其能夠比傳統光學方法更有效地測量和檢測設備特性。它是可靠的過程控制和設備驗證的一個經濟高效的選項,重點是缺陷分析。