二手 KLA / TENCOR 7200 Surfscan #293664994 待售
網址複製成功!
KLA/TENCOR 7200 Surfscan是一款完整的晶圓測試和計量設備,旨在滿足半導體行業的需求。它能夠測試範圍廣泛的晶圓格式,從標準的2-8英寸晶圓到大型和超薄晶圓。該系統提供了一整套先進的晶圓測試和計量工具,包括光學臨界尺寸(CD)測量、光學輪廓(OP)測量、激光寬度(LW)測量、降噪單元(NRS)和實時缺陷定位(RTDL)。KLA 7200 Surfscan支持從頂部和底部全面測試和分析晶片。它利用其獲得專利的自動掃描激光機器(ASLS)同時測量和分析整個晶片上的模式。高級工具和直觀的軟件功能相結合,使TENCOR 7200 Surfscan能夠快速執行全面的測試和分析,從而節省寶貴的時間和金錢。7200 Surfscan提供了一個多功能的CD/OP測量工具,它具有廣域視圖顯微鏡資產,能夠執行快速模式橫向驗證、CD測量和光學輪廓測量。該模型還提供了激光寬度測量模塊,該模塊可以使用非接觸式測量來測量晶片上的線寬/空格陣列。KLA/TENCOR 7200 Surfscan的降噪設備(NRS)功能使測量能夠自動校正外部噪聲因素,如背景噪聲、條紋效果和幹擾。實時缺陷定位功能在笛卡爾坐標和極坐標中提供精確的缺陷位置分析。KLA 7200 Surfscan還提供了多種其他工具,包括光學缺陷審查分析、專門調查和統計過程控制。通過專門的研究功能,可以進一步分析光學測量不易發現的缺陷或圖樣結構。統計過程控制功能為過程監測和控制提供了晶圓數據的統計比較。TENCOR 7200 Surfscan支持多種硬件選項,包括探針卡、晶圓處理系統、清潔工作站等。這些硬件選項允許用戶自定義系統以適合其特定應用程序。此外,該部門還提供為滿足半導體行業的迫切需求而開發的各種軟件程序。總體而言,7200 Surfscan是一臺全面且高度先進的晶圓測試和計量機器,專為當今要求苛刻的半導體行業而設計。它結合了獨特的功能、復雜的軟件和硬件選項,是確保對當今復雜晶圓格式進行準確分析和測試的絕佳選擇。
還沒有評論