二手 KLA / TENCOR 7600 Surfscan #293658685 待售
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KLA/TENCOR 7600 Surfscan是專門為滿足半導體行業需求而設計的頂級晶圓測試和計量設備。KLA 7600 Surfscan配備了業界領先的系統，如先進的光學系統，用於高分辨率晶圓檢測、3D深度測量以及半導體生產工藝的光刻控制。TENCOR 7600 Surfscan中的先進光學單元具有0.35的NA和高達4mm的大視場（FOV）。這樣即使在較高的晶圓速度下也能以高分辨率和準確度檢測缺陷。此外，光學機器可以與集成激光幹涉儀相結合，用於高精度的3D非接觸式計量。這允許對晶片進行全面的計量，例如地形、缺陷高度和晶片平坦度測量。7600 Surfscan還支持使用KLA專有的HS-PS技術進行自動缺陷檢測、識別和分類。該技術利用模式識別算法來區分粒子、蝕刻異常、結構和地下缺陷。KLA/TENCOR 7600 Surfscan的計量工具被設計為提供最大精度和重復性。它利用高分辨率的RGB檢測器、可調光束角和高對比度的彩色濾光片來執行一系列復雜的晶圓測量和分析。此資產還能夠檢測多層和缺陷類型,包括空隙、凹坑、突起、深度變化和梯度。KLA 7600 Surfscan為晶圓處理提供了出色的正常運行時間和快速的周轉時間。它采用了最先進的技術,包括高精度晶圓處理模型、控制組件、軟件和功能強大的自動化平臺。它可以檢查直徑達200毫米的晶片，每小時最多可以處理8個晶片。總體而言，TENCOR 7600 Surfscan是晶圓測試和計量的高度先進的工具。它擁有專門的光學設備和集成的激光幹涉儀，提供卓越的缺陷檢測、三維非接觸計量學和自動缺陷分類。7600 Surfscan是半導體制造商的寶貴工具,他們的生產過程需要精確度和可靠性。
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