二手 KLA / TENCOR 7600 Surfscan #293662763 待售

KLA/TENCOR 7600 Surfscan是一種最先進的晶片測試和計量設備，用於晶片和介電表面的探測和表面表征。它基於專有的幹涉技術,使系統能夠準確評估表面的地形特性,如表面平面度、粒子計數和臨界尺寸測量。KLA 7600 Surfscan設計用於在典型的半導體制造環境中進行過程控制和在線檢查。它具有低功耗的特點，可以部署在測量晶片表面拓撲和缺陷的廣泛應用中。該儀器在非接觸模式下工作，使其能夠探測和成像各種介電表面。其高精度地形測量可以檢測到階梯高度、懸垂、溝槽、溝槽等表面特性的微觀變化。該裝置配有先進的分析工具，便於確定顆粒尺寸和分布、線寬和減少表面粗糙度等關鍵缺陷特性。它還具有集成的報告功能,可以方便地比較一段時間內和多個晶片之間的過程。此外，TENCOR 7600 Surfscan可以連接到熱氧化物測量系統等其他過程控制系統，使用戶能夠將測量過程集成到更大的過程控制工作流程中。該儀器包括分辨率為0.45µm的高分辨率CCD/CMOS傳感器。這確保了曲面分析的最高精度和可重復性。它還利用數字信號處理和12位或更高分辨率來提供卓越的漂移穩定性和性能。7600 Surfscan具有自動掃描功能,使用戶能夠快速輕松地處理多個晶片。這在大量晶片必須按照行業標準快速分析的生產應用中尤其有用。KLA/TENCOR 7600 Surfscan是一種可靠且易於使用的晶圓測試和計量機器,為用戶提供業界領先的測量精度和可重復性。它的高級特性和功能可確保快速高效地執行過程控制和串聯測試,從而確保高水平的設備產量和質量。