二手 KLA / TENCOR 7600 Surfscan #293758656 待售

KLA/TENCOR 7600沖浪機是一種精密的晶圓測試和計量設備。專為半導體生產而設計，這臺機器提供高分辨率的非接觸式2D映射檢查，可以檢測和分析亞微米級半導體晶片上的潛在缺陷。該機器利用先進的光學字符識別（OCR）技術檢測各種晶圓表面.該系統具有高吞吐量、高分辨率檢測、高精度缺陷識別、寬視野、短周期和用戶友好的Windows NT環境等功能。在操作中，KLA 7600 Surfscan單元從一個從輸入盒式磁帶獲取晶片並將其定位在晶片處理站上開始。然後通過智能柱頭對準隧道對晶片進行檢查，該隧道精確測量表面地形，以確定晶片在測試板上的確切位置。空氣滑軌然後將晶片移入測量平面進行機器檢查。采用高靈敏度、低噪聲光學探測器檢測和測量亞微米尺度晶片缺陷。該機先進的OCR技術和內置算法提供了卓越的檢測精度，並精確區分了關鍵缺陷和非關鍵缺陷。發現太小或太復雜而無法檢測的缺陷可以在「工具箱」中進行標記和進一步審查。高分辨率成像由工具的四個高速視線掃描頭執行。掃描頭能夠提供多達四行垂直分辨率高達50 nm的數據。這些掃描頭可以以高達掃描速率6.5kHz方式跟蹤晶片的表面。最後，TENCOR 7600 Surfscan配備了直觀的軟件，允許在簡單的圖形顯示中查看測試結果。所有測量數據都存儲在現場,可用於導出或傳輸。7600 Surfscan是一種高效可靠的晶圓測試和計量資產。它結合了先進的檢測技術和直觀的用戶界面，成為任何半導體晶圓生產作業的絕佳選擇。