二手 KLA / TENCOR 7600M Surfscan #293639668 待售

KLA/TENCOR 7600M Surfscan是為半導體晶圓生產而設計的最先進的晶圓測試和計量設備。它旨在幫助半導體制造商提高其總產量和產品質量，對晶圓表面進行更準確和完整的測量，包括對沈積在晶圓表面的材料的物理和化學性質進行測量。沖浪掃描7600M有兩個主要組成部分：一個先進的晶圓級成像系統和一個先進的計量子系統。其晶圓級成像單元能夠以5微米的分辨率捕獲圖像，並檢測到低至1納米的粒子和缺陷。它還可以讀取和分析各種晶片表面特征，如晶粒尺寸、表面粗糙度和汙染程度。Surfscan 7600M的高級計量子系統包括高級幹涉測量模塊、寬帶橢圓偏振機和模片掃描站。幹涉測量模塊可以在三個維度上測量樣品的地形，分辨率為0.25納米。寬帶橢圓偏振工具可以測量分辨率為0.5納米的樣品的光學特性，而晶片掃描站可以測量樣品的尺寸、形狀和方向，精度低至0.1納米。Surfscan 7600M還具有許多先進的功能,使其易於使用並集成到現代半導體制造系列中。它配備了自動對準資產，使晶片與模型對準以進行精確測量。它還配備了先進的晶圓識別設備，能夠檢測和識別多達24種不同的晶圓。最後,它附帶了一整套軟件,可提供定制的分析、數據管理和報告功能。總而言之，KLA 7600M Surfscan是一個先進的晶圓測試和計量系統，為半導體制造商提供可靠準確的晶圓表面測量。其最先進的成像和計量功能,加上一系列高級功能,使其成為提高晶圓產量和產品質量的寶貴工具。