二手 KLA / TENCOR 7600M Surfscan #9265522 待售

KLA/TENCOR 7600M Surfscan設備是一種先進的晶圓測試和計量系統，適合生產級使用。它配備了先進的多區域圖樣圖像傳感技術，提供高吞吐量和準確的結果。該單元滿足半導體制造、平板顯示器和光電器件行業的基本工藝控制需求。KLA 7600M Surfscan的設計具有非常用戶友好的界面，可以方便快速地進行晶圓測試和計量操作。該機配有雙激光圖樣圖像傳感模塊，可確保精確確定缺陷位置、尺寸、形狀和其他特征。它還包含了標準的自動光學自動對焦功能,以及用於捕獲晶圓上復雜特征的超高分辨率圖像的三維浮雕工具。TENCOR 7600M Surfscan設計用於處理直徑可達8英寸的各種晶片,並配備了包括專用厚、薄晶片傳感器、單元件和多元素聚焦模型的對準資產,以及便於快速掃描晶片表面的檢流計。此外，該設備還具有一次掃描多達8個晶片的能力，從而提高了吞吐量。該系統包括一個內置缺陷審查站和專用軟件，用於手動審查多種缺陷類型。它還為故障晶片的快速安裝和後處理提供了可選的單元體系結構。這樣可以確保如果晶片的缺陷無法立即糾正,則不會重新處理它們。此外，它的嵌入式計量軟件能夠進行精確的非接觸晶圓表面測量。綜上所述,7600M Surfscan是一臺晶圓測試和計量機,它提供了一整套功能,可實現精確、快速的晶圓測試和計量學操作,包括用於手動和自動檢查的缺陷審查和計量學軟件。該工具具有強大的陣列圖像感測模塊、自動光學和其他功能,可確保高吞吐量和可靠的結果。