二手 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #293592610 待售

KLA/TENCOR 7700 Surfscan是一款高性能晶圓測試和計量設備。配備了強大的光學顯微鏡級，可以測量和分析半導體晶片和基板的表面特性。該系統能夠為常規和復雜的表征應用提供強大、可靠和準確的結果。Surfscan 7700采用雙TMS200圖像處理和圖像分析處理器。它配備了高性能的8 「x 8」傾斜平移級和4級自動激光偏斜單元。該平臺還配備了高度靈敏的電動Z焦機，可進行精確的垂直調節和高達10微米的精確測量範圍。surfscan 7700提供了廣泛的晶圓計量功能,包括CD、Uniformity、Traceability和Profile測量。它還可以定量測量諸如表面粗糙度、平均高度、波浪度、步高、微溝槽、沈降和弓等歷史和動態參數。該工具與一系列先進的光學配件兼容，包括動態偏振平臺、斜角照明器、人工缺陷發生器和暗場照明器。它還具有專有的光條紋功能,可進一步增強視野內的照明均勻性。除了晶圓計量功能外，surfscan 7700還提供晶圓缺陷分析功能。它可以檢測到粒子缺陷、結構缺陷、界面缺陷等各種類型的不可見缺陷。借助其高端傳感器和掃描系統，可以準確檢測和計數尺寸小於200 nm的顆粒缺陷。Surfscan 7700還具有先進的內置反饋控制資產,使模型能夠動態適應不斷變化的環境條件,從而保持最佳成像性能和準確性。此外,它的緊湊設計允許在各種實驗室設置中輕松安裝。綜上所述，KLA 7700 Surfscan是一種高性能晶圓測試和計量設備，可用於晶圓表面表征、晶圓缺陷分析和環境反饋控制。它提供了廣泛的高級功能、卓越的測量精度和可重復性、易於安裝以及出色的成像性能。