二手 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #293636821 待售
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KLA/TENCOR 7700 Surfscan是一款用於最先進的半導體技術節點的領先晶圓測試和計量設備。它提供了快速、可靠的測量,可以改進過程控制和設備性能優化。它采用基於光學的高精度多傳感器體系結構進行設計,使其能夠精確測量各種關鍵設備參數。KLA 7700 Surfscan配備了環境控制、非接觸式、近場光學顯微鏡（NFOM）頭，以允許快速、可靠和可重復的分析測量最關鍵的設備參數，並以最小的用戶幹預。TENCOR 7700 Surfscan允許用戶測量各種設備類型,包括平面、SOI、高級電阻器、少數載波設備、深溝MOSFET、finFET和高性能晶體管。它為2D叠加、臨界尺寸（CD）和輪廓、線緣粗糙度（LER）等器件參數以及閾值電壓、載流子移動性等電氣特性以及介電、光學、阻尼特性的測量提供了卓越的精度。7700 Surfscan利用獨特的多傳感器體系結構,該體系結構結合了探針、數據轉換和多路復用、縮放和焦點控制、掃描執行器、NFOM光學設備和彩色成像照明器。這種多傳感器體系結構允許極快的設備特性和數據采集。此外,軟件套件允許用戶以手動或自動的方式控制、監視和分析系統收集的數據。KLA/TENCOR 7700 Surfscan的核心是一個強大的掃描執行器,它能夠以極高的速度以高精度測量平面和復雜的設備。掃描執行器利用強大的計算機算法，即使在最具挑戰性的條件下，也能精確引導測量設備通過樣品。這與雙向數據采集單元相結合，確保在樣本上準確捕獲所有相關信息。該機器能夠滿足廣泛的優化需求,因為它具有強大而靈活的模塊化體系結構,並且在數據收集和解釋方面具有高度的一致性和可重復性。這種靈活性改進了識別和糾正半導體制造過程中任何問題的過程,以最大限度地提高產品可靠性和優化過程性能。KLA 7700 Surfscan是任何需要快速可靠測量以優化其制造過程的制造商的理想工具。它為各種設備參數的測量提供了卓越的精度,其多傳感器體系結構與靈活的模塊化體系結構相結合,使工具能夠滿足幾乎所有的優化需求。TENCOR 7700 Surfscan比以往任何時候都更容易確保您的產品每次都能按預期運行。
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