二手 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #293653454 待售

ID: 293653454
優質的: 1996
Wafer inspection system 1996 vintage.
KLA/TENCOR 7700 Surfscan是一種先進的晶圓測試和計量設備,不僅用於測量,而且用於檢查、鑒定和表征一系列樣品基板。這個全面的平臺使得各種材料能夠快速分析廣泛的應用,包括半導體、平板顯示器、太陽能和內存設備的生產。KLA 7700 Surfscan系統采用先進的自動顯微鏡,能夠進行高質量的光學測量,並提供詳細的成像和分析。憑借卓越的3D計量能力和5軸硬件階段,該單元可以測量各種晶圓接口和表面地形。自動特征檢測算法允許比較多個測量參數以定義質量指標,從而幫助確保產品的最高產量。增強的圖像處理算法通過評估包括焦距、線緣粗糙度和圖案尺寸測量在內的許多納米級特征,進一步擴展了機器功能。該工具還具有數據檢索和顯示方面的高度靈活性,能夠導出各種格式的數據,包括PDF、.plt、.dat和.xls。集成的圖形用戶界面和嵌入式軟件可以快速分析多個樣本。TENCOR 7700 Surfscan采用現代輕型鋼框架和模塊化體系結構構建,可用於360°輔助功能,可輕松集成到預先存在的自動化系統中。此配置可實現最低限度的維護,實現高水平的可靠性能和最佳的正常運行時間。7700 Surfscan具有高度可配置的一系列選項,包括用於增加樣品吞吐量的7720自動晶片映射器和用於更精確地校準基板邊緣區域資產的7700邊緣校準套件。此外,還提供了一些升級軟件包,包括自動對齊、自動對焦、叠加映射器以及各種計量技術。憑借強大的性能和先進的功能,KLA/TENCOR 7700 Surfscan是一款可靠、功能強大的機型,適用於要求最苛刻的計量應用。
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