二手 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #293654401 待售

KLA/TENCOR SFS 7700是一種自動化的計量和晶圓測試設備,旨在實現半導體制造和制造過程中的高級在線計量和故障分析。該系統提供晶圓上測試結構的高分辨率三維成像和先進的自動化測量，允許對關鍵過程結果進行近乎即時的反饋。綜合起來,這項全面的技術可以實現全面的故障分析、質量控制和過程優化,並對晶圓過程進行前所未有的精度和控制。KLA SFS 7700通過多種成像技術提供卓越的3D可視化功能,包括本地光學顯微鏡技術和高速掃描電子顯微鏡（SEM）。此外,該單元還采用了先進的場景重建算法,用於自動3D功能,可提高速度和準確性。7700還包括一個專有的計量包,它可以快速、準確地測量特征大小、形狀和拓撲。7700還包括一個數據采集機（DAS）,它在三個領域提供數據分析功能：測試晶圓分析、實時過程控制和過程產量優化。測試晶片分析組件提供詳細的特征圖,為產量改進計劃提供信息,而實時過程控制組件則提供有關單個晶片級別的串聯質量和過程檢測的信息。最後，工藝產量優化組件指導晶圓質量改進計劃，同時提供工藝漂移和不良趨勢的預警。此外,7900工具提供了強大而靈活的故障分析功能,使流程工程師能夠查明流程異常的來源。7900利用優化的技術組合來精確檢測潛在故障,如模模比較、測量趨勢分析、交叉晶圓分析、色圖相關性等,以查明潛在故障驅動因素。此外,此資產可以自動化以進行內聯測試和流程監控,從而提高流程可見性和反饋能力。總體而言,TENCOR SFS 7700提供了強大的晶片內部測試模型,提供詳細的過程控制、高級故障檢測和優化功能,以提高半導體制造和制造產量。該設備全面的計量和成像功能,加上自動化的數據分析和故障檢測功能,使用戶能夠快速準確地監控和調整半導體制造過程,從而提高性能和產品質量。