二手 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #293655831 待售

KLA / TENCOR 7700 Surfscan
ID: 293655831
晶圓大小: 6"
Particle inspection system, 6".
KLA/TENCOR 7700 Surfscan是一種晶圓測試和計量設備,提供高精度的高通量非接觸晶圓測量。它用於測量和檢查各種摻雜水平、材料和幾何形狀的晶片,用於廣泛的行業。該系統由高保真掃描光學器件、集成的高清有源傳感單元和強大的實時數據采集和分析包組成。這三個集成組件協同工作,快速準確地測量和檢查各種摻雜水平、材料和幾何形狀的晶片。高保真掃描光學器件提供了1.25 µrad的角分辨率和擴展的視野,允許更大程度的圖像清晰度和準確性。這臺機器的設計目的是從晶圓的關鍵區域獲得精確的測量,包括陡坡剖面(SSU)、臨界尺寸(CD)和間距測量。與傳統的手動檢查相比,集成主動傳感工具使資產能夠以更高的準確性和更快的周期時間實時檢測和分類缺陷。模型的算法是根據每個晶片的特性量身定制的,允許最大的檢測效率。這種高性能的傳感設備對於非常小的缺陷極為精確,使得它適用於一系列的制造過程。最後,強大的數據采集和分析包提供了與晶圓線寬、缺陷大小和其他復雜信息相關的詳細結果,而無需手動數據解釋。這個復雜的軟件包能夠在毫秒內呈現定量結果,為表面計量應用程序提供及時和連續的信息流。總體而言,KLA 7700 Surfscan是一個創新可靠的晶圓測試和計量系統。它專為處理要求最苛刻的晶片特性而設計,為眾多行業提供高精度的測量和檢查。集成單元對用戶友好,可深入分析關鍵晶片特征及其缺陷。這一切共同為業界提供了一個準確而有力的工具,用於有效的晶圓測試和計量。
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