二手 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #293655833 待售

KLA/TENCOR 7700 Surfscan是一種晶圓測試和計量設備，用於表征半導體晶圓。它提供掃描電子顯微鏡（SEM）與二次電子和反向散射感應地形，和掃描交流和直流電流系統的電評估和缺陷診斷。SEM系統包括高通量、低劑量映射的7700ES快速掃描儀；用於精確、高分辨率測量的7700FS精細掃描儀；以及用於局部電容測量的7700SD掃描電容顯微鏡。交流/直流單元包括用於高性能電氣測量的交流/直流測量通道和用於分析數據集的交流/直流分析機。該工具特別適用於最小CD為65nm或更小的高級節點應用程序。KLA 7700 Surfscan能夠以低成本提供卓越的測量可靠性和性能。交流/直流資產采用頻域算法，可以測量超高速設備，檢測和表征其他系統可能遺漏的關鍵缺陷。ES和FS掃描儀具有快速的掃描速度和高的動態範圍,能夠對3D地形和相變結構進行精確的測量和缺陷表征。SD SCM的集成控制器和16位A/D轉換器提供100納米的信號采樣和測量精度。TENCOR 7700 Surfscan還提供了一個功能強大的軟件套件,用於分析和可視化數據。Surfview TSR軟件使用戶能夠快速、輕松、準確地分析數據並查看逐模測試結果。FASt審閱軟件提供了工具預配置和默認值,使操作員能夠為特定應用程序執行自動設置。Smart review軟件是一個基於Windows的應用程序,它為快速查找大量晶片上的缺陷提供了一個用戶友好的環境。綜上所述,7700 Surfscan是一種先進的晶圓測試和計量模型,能夠提供出色的測量可靠性和性能。它的多種儀器和軟件使其成為高級節點應用程序的理想選擇。