二手 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #293747975 待售

KLA/TENCOR 7700是一種全自動晶圓測試和計量設備。該系統能夠處理8英寸和12英寸晶片，用於測量晶片、IC和MEMS上的電氣和光學性能。該單元利用集成顯微鏡、光學數字化儀和成像系統以及用戶可編程的機器人級來測量單個環境中的各種特征。KLA 7700具有用於光學測量的3.4納米分辨率和用於不同成像技術的各種傳感器,是設備表征、故障發現和故障分析的理想選擇。TENCOR 7700的成像光學包括亮場、暗場、偏振和熒光能力。該工具還提供了廣泛的計量功能,如表面粗糙度分析、線寬測量、凸起或空隙檢測以及3D光學表面輪廓分析。該機器能夠測量小至20納米的特征，精確度優於一納米。此外，這種工具能夠處理多達12英寸的晶圓，並且能夠達到高達每分鐘10,000次測試的測試速度。7700包括多種基於圖像的測試功能,例如參數化測試、模具檢查和缺陷成像。參數測試能夠識別由於溫度、電壓和其他環境因素引起的性能變化。模具檢驗能力用於檢測晶片上的結構缺陷、屈服問題和工藝變化。缺陷成像功能用於檢測不可見缺陷並識別汙染物和顆粒。KLA/TENCOR 7700提供Advanced Color Variation 2.0 （Advanced Color Variation 2.0, ACV2.0成像。ACV2.0集成了NIR（近紅外）成像和高級顏色分析,以快速準確地測量不同層之間的復雜顏色轉換。使用此技術,資產能夠檢測顏色轉換或異常,從像素到像素,否則可能會丟失。KLA 7700由COMNET-I可編程軟件控制，它允許對晶圓規格進行快速、容易的編程。利用行業標準的LIMS、工作表和可擴展的解決方案,該模型可以連接到MES系統,減少手動編程和腳本編寫,並實時提供具有統計完整性的過程控制數據。工廠車間測試檢驗，TENCOR 7700有能力融入生產線。使用模塊化軟件包,可以定制設備以滿足客戶的個別要求,例如自動配方、定制的作業處理和受控的工廠設置。因此，該系統確保每個晶片在測量和產量方面都得到準確和有效的分析。