二手 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #293749242 待售

KLA/TENCOR 7700 Surfscan是一種晶圓測試和計量設備，提供高精度和重復性，以分析半導體器件的正面和背面。KLA 7700 Surfscan由KLA開發,采用先進的光機械對準技術來準確識別和測量特征。利用最新的工業標準線性差分變壓器（LVDT）和紅外激光位移傳感器，系統能夠為單個模具的背面拓撲繪制完整的晶圓圖。使用的光電子方法允許設備識別缺陷，從幾微米的大小到直徑最大為35毫米。為了提供最準確的結果，Surfscan機利用了多光束照明和基於光柵的光學級的光學致動。這兩個組成部分的組合確保了精確的測量。此外,刀具還使用校準的測量點來確定特征的確切形狀及其方向和角度。除了檢測功能和缺陷之外,Surfscan還引入了功能強大的自動化功能,使用戶能夠準確測量各種設備。通過使用先進的編程算法，利用標準計量技術快速有效地捕捉特征的位置、形狀和大小。資產還提供了測量模具可重復性以及測量全局參數（如厚度、叠加、對齊和螺距等）的選項。TENCOR 7700 Surfscan擁有廣泛的住宿設置，支持多種晶圓大小和類型。該模型的短周期和環境合規性為用戶提供了在清潔室環境中快速可靠測量的機會。此功能非常適合半導體制造和測試。7700 Surfscan作為下一代晶圓測試和計量設備,為尋求密切監視半導體器件制造過程的用戶提供了最高的精度和準確性。通過使用先進的opto機械對齊和opto電子方法，系統能夠捕捉小特性和缺陷，同時提供高效的工作流程。通過結合自動化特性和一致的測量點，Surfscan單元是半導體行業的理想解決方案。