二手 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #9042217 待售

KLA / TENCOR 7700 Surfscan
ID: 9042217
Patterned wafer surface inspection system.
KLA/TENCOR 7700 Surfscan設備是一種表面測試和計量系統,設計用於對先進的微電子基板(晶片)進行精確的測量、檢查和表征。它提供晶圓厚度和平坦度、特征大小、表面粗糙度/紋理和清潔度的晶圓表面分析。該單元能夠以高精度在宏觀和納米尺度上進行測量。KLA 7700 Surfscan機器使用3D光學和2D光學技術捕獲晶片圖樣數據。三維光學技術捕獲晶片的地形表面數據,從而可以測量微小的缺陷,如劃痕、顛簸和丘陵。二維光學技術從晶圓的平面視場中捕獲數據,測量整體模式均勻性或「平坦度」。該工具采用高性能分析技術,能夠測量尺寸小於0.2 μ m的特征。TENCOR 7700 Surfscan還配備了先進的圖像可視化和分析工具,使數據解釋更加容易。7700生成的數據將通過專有算法和統計模型進行分析,這些算法和模型有助於驗證產品性能,並在整個加工和生產步驟中產生產量。通過現場自動測量,7700 Surfscan有助於降低人為錯誤和可變性的風險,同時提高吞吐量和產量。此外,該資產還包括用於簡化校準程序的自動聚焦技術,並集成了先進的模式識別,以增強對設備特性的識別。總體而言,KLA/TENCOR 7700 Surfscan是晶圓測試和計量的理想型號,因為它具有高精度、檢測微缺陷的能力、自動化過程和高級圖像可視化工具。KLA 7700 Surfscan具有精確測量特征尺寸和表面光潔度的能力,是晶圓制造和先進半導體生產的重要工具。
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