二手 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #9171318 待售

KLA/TENCOR 7700 Surfscan是一款最先進的晶圓測試和計量儀器，設計用於半導體行業的過程監測。KLA 7700 Surfscan采用先進技術設計,實現了前端、後端和薄膜工藝的特性。TENCOR 7700 Surfscan通過以太網輕松連接到現有的實驗室和晶圓廠生產系統,為客戶提供快速收集數據、輕松查看結果以及快速響應過程偏移的能力。它包括自動化晶片處理、原位光譜、自動化晶片映射、聚焦離子束成像等集成組件。Surfscan的硬件和軟件支持快速的數據收集和分析。7700 Surfscan的核心是掃描頭。這提供了在極端8英寸至200毫米晶片或窗口（低壓和高壓）中精確檢測信號的精度,閃電快速掃描速度高達542mm/s。利用KLA專利的單Scan™技術,通過五個獨立控制、高分辨率、長壽命、400微米壓電掃描階段實現了這一目標。Single-Scan™的另一個優點是特殊的計分公差,它提高了晶片層和組成的可見性。再者，KLA/TENCOR 7700 Surfscan配備了兩臺同時光譜儀來測量50-2000nm光譜範圍內小至三納米的粒子。這兩個光譜儀包括範圍廣泛的掃描速度和面積掃描密度，使得晶圓檢查到微米尺度。光譜儀還允許Surfscan快速識別粒子，僅用一次掃描就能準確地將它們分類為矽、有機、矽酮或其他粒子。Surfscan 7700利用高級算法提供了非常精確的三維晶圓掃描。這些算法與系統的焦點離子束成像功能配合使用,提供了令人難以置信的詳細地形和晶圓及其厚度或組成的汙染映射。Surfscan的第二種算法還有助於降低噪音和提高靈敏度,從而為客戶提供更高的可靠性。Surfscan 7700是市場領先的晶圓測試和計量儀器，提供快速、準確、可靠的數據。KLA 7700 Surfscan為半導體制造和測試提供了一個必不可少的工具。