二手 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #9198541 待售

KLA/TENCOR 7700 Surfscan是一種晶圓測試和計量設備，用於測量和表征集成電路和微電子元件的物理、電氣和光學特性。KLA 7700 Surfscan系統是半導體和光電元件開發、表征和生產的關鍵工具。7700具有高精度的計量單元，具有優越的重復性和準確性。它旨在測量尺寸從1納米到6毫米的特征，支持廣泛的光刻技術，包括電子束、DUV、ArFi和可見成像。而且7700可以測量表面地形，分辨率為0.01納米。TENCOR 7700 Surfscan使用多種計量技術進行多種測試，包括掃描電子顯微鏡（SEM）、原子力顯微鏡（AFM）、共聚焦顯微鏡（CM）、白光幹涉測量（WLI）和光學散射測量（OS）。這些技術用於分析該晶片上電路的幾何形狀和特性。SEM用於觀察電路的布局，包括表面沈積金屬的生長速率。AFM提供了一個高分辨率的表面3D圖像，允許精確表征表面粗糙度和精確控制晶圓的粗糙度預算。CM可實現大規模和小規模分辨率的無損成像,並可準確描述設備性能或偽速度和接觸等特性。WLI是一種基於衍射的成像技術，可以監測塗層和薄膜的狀況和穩定性。OS檢測電路板表面地形的光學效應，適用於高精度尺寸測量和晶圓特征表面分析。7700 Surfscan是一款功能豐富的計量機，允許完全的靈活性和可擴展性。它可以用於手動操作和與其集成硬件的自動掃描，如數據采集和分析板，或者操作員可以集成第三方儀器，如掃描電子顯微鏡界面。它還可以容納各種探針，包括手動和機動階段，並與各種軟件工具一起部署。KLA/TENCOR 7700 Surfscan工具是一種可靠且經濟高效的計量資產,可用於測量電路和組件的物理、電氣和光學特性。它被用於各種開發和生產應用，是半導體工業中必不可少的工具。