二手 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #9221363 待售

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ID: 9221363
晶圓大小: 8"
優質的: 1996
Wafer inspection system, 8" Automatic handling, 4"– 8" Patterned / Unpatterned wafer inspection system Defects maximum resolution 0.15µ Scan pitch: Max resolution – 12.5m between scan lines XY Coordinates accuracy within 1% 30 Wafers per hour throughput High sensitivity on after-etch and high topography application Uniphase argon ion laser Low contact wafer chuck, 200mm dia Blower assembly 1996 vintage.
KLA/TENCOR 7700 Surfscan是一種晶圓測試和計量設備,旨在識別和表征半導體晶圓上的物理缺陷。利用高功率顯微鏡和相關的圖像處理軟件,該系統能夠檢測和測量晶圓上最微小的特征。7700單元利用最先進的光學和圖像處理平臺,從各種各樣的晶圓類型生成高分辨率圖像。它提供了從500到8,000X的放大視野,允許檢查和分析20 µm到50 nm的特征尺寸。機器的成像功能和強大的軟件使用戶能夠執行嚴重缺陷檢測和分類任務。KLA 7700 Surfscan配備了晶圓級圖像縫合功能,允許用戶將多個階段的圖像組合到單個圖像中。此自動化過程有助於最大限度地減少誤報和誤報,同時允許進行高通量晶圓測試。TENCOR 7700 Surfscan工具用戶友好,具有直觀的圖形用戶界面(GUI),易於操作。此GUI還允許用戶快速配置映像參數、為不同的圖像處理技術設置條件、選擇模式識別參數以及配置報告要求。7700 Surfscan資產中使用的軟件提供了強大的模式識別功能。它能夠準確檢測、測量和分析各種缺陷類型,包括異常、散射、粗糙度、凹坑和空隙。該模型還具有缺陷歸因功能,允許用戶將晶圓缺陷歸因於處理源,從而為用戶提供有關根本原因的詳細信息。KLA/TENCOR 7700 Surfscan設備是一種高效、可靠、經濟高效的半導體晶片檢測和分析方法。其先進的成像功能、圖像縫合功能和強大的模式識別算法使其成為與缺陷相關的晶圓測試的理想工具。
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