二手 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #9234278 待售

KLA/TENCOR 7700 Surfscan是一種最先進的晶圓測試和計量設備,用於測量設備的地形、圖樣、叠加、尺寸和缺陷特性。該系統能夠測量結構尺寸到0.3微米，精度和精度都很高。它設計用於全自動掃描和數據輸出,同時提供用於圖像分析的高級單元軟件功能。KLA 7700 Surfscan包括一個獨特的、雙原位白光幹涉儀（WLI）作為主要的光學成像元件。這種WLI有助於提供優越的、非接觸的、三維成像以及納米結構和圖樣的快速表征,即使在連續圖樣化的表面上也是如此。機器包含幾個物理屬性,這些屬性可實現卓越的檢查速度和吞吐量,例如大檢測器區域（2X）和多個檢測設置。該工具可為各種應用程序配備多個自動化模塊：從檢查完整晶片到帶或不帶映射的圖樣化或非圖樣化曲面。這使得它能夠檢測和分析各種表面缺陷和晶圓扭曲的結構。再者，資產包括大量用戶定義的參數，如檢查速度、高視覺分辨率、動態聚焦和部分掃描。所有這些參數都可以根據應用進行調整。TENCOR 7700 Surfscan還具有高級軟件功能,可提供直觀的用戶界面以及通用的分析和缺陷分類工具。該模型還可以與其他具有成本效益的控制器和可編程邏輯控制器（PLC）集成，用於自動化和過程控制。此外,它還包含內置的高分辨率成像和局部區域優化（LRO）功能,可提高設備的整體精度和結果的統一性。綜上所述，KLA 7700是當今市場上最好的計量和晶圓檢測系統之一。其獨特的功能如雙原位WLI、多檢測設置和自動化模塊、高級軟件功能、集成可編程邏輯控制器（PLC）和局域優化（LRO）功能，使其成為測試和分析廣泛晶片表面特性的可靠且經濟高效的解決方案。