二手 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #9239241 待售

KLA/TENCOR 7700 Surfscan是一款先進的晶圓測試和計量設備。它配備了強大靈敏的光學幹涉表面剖面儀，能夠以納米分辨率對極其復雜的表面進行高度精確的測量。該系統還可用於執行關鍵缺陷檢測和分析。它能夠非常精確地測量表面地形、厚度、側壁角度、平面和線條或特征寬度。KLA 7700 Surfscan單元可容納直徑不超過200 mm的晶片,設計用於最佳測量可重復性。TENCOR 7700 Surfscan利用幹涉光學器件配對和高分辨率CCD相機分析晶圓的表面輪廓、地形、線寬和特征尺寸。通過其高精度掃描技術，Surfscan能夠捕捉到表面特征的詳細圖像，然後可以與預定義的產品規格進行分析比較。Surfscan提供多種照明技術,以減少或消除晶粒噪聲和表面反射率影響,從而實現最精確的測量。Surfscan的軟件設計用於處理表面圖像,並以微米精度定量測量2D輪廓數據。它還能夠分析缺陷部位，並使用既定的工具和算法進行識別。然後可以使用這些測量來幫助確定產量和缺陷處理,以及幫助確定後續晶圓處理的設計規則。Surfscan可以與多種操作系統接口，使其適合廣泛的應用。一般認為它是目前可用的最精確的晶圓測試和計量系統之一。這臺機器設計的可靠性和可重復性，確保用戶可以依靠獲得一致和準確的結果。最後,7700 Surfscan附帶了全面的用戶手冊和技術支持文檔,以指導用戶完成儀器的設置和功能。