二手 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #9284333 待售

KLA/TENCOR 7700 Surfscan是一種晶圓測試和計量設備，用於檢查和表征半導體器件的芯片表面。它的高分辨率CCD相機能夠測量設備上的表面缺陷，在確定尺寸和地形時提供高精度。計量系統可用於檢查在芯片制造過程中過程的控制情況。它能夠進行金屬沈積、表面粗糙度和輪廓檢查，並采用光學成像和光學散射技術。KLA 7700 Surfscan使用其CCD相機,可以評估芯片上各種特征的輪廓形狀、線性度、俯仰度和長寬比。此外，該裝置能夠同時進行2D/3D表面缺陷計量和粒子檢測。TENCOR 7700 Surfscan還包括成像硬件和算法，用於檢測非均勻性、大顆粒、結霜、線寬以及整體晶圓平坦度分析等過程相關缺陷。這提高了過程控制和產品產量。這也是非常準確的表征opto-機械結構，如MEMS和腔結構。它能夠跨多個芯片快速檢測和計量基於特征的缺陷,從而顯著縮短缺陷分析和優化的周轉時間。該機器有各種定制，用於測試直徑高達450mm、高速的晶片，最大速度為2500晶片/小時。硬件堅固、無振動,非常適合在生產環境中使用。它還與領先的ERP系統集成,以實現無縫工作流集成和自動化。此外,其直觀的用戶界面允許用戶快速、輕松地存儲和檢索晶圓結果。總之，7700 Surfscan是一種可靠而強大的晶圓測試和計量工具。它是測試和分析半導體器件芯片表面的理想解決方案，確保了高精度、速度和過程控制。