二手 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #9398780 待售

KLA/TENCOR 7700 Surfscan是一種晶圓測試和計量設備，用於檢查微電子器件的工藝缺陷、顆粒汙染物和薄膜厚度。它具有保證精度的高精度三軸電動晶片級，以及用於檢測微妙表面變化的激光傳感系統。KLA 7700 Surfscan使用5x10-9 N/m2的二極管泵浦激光器測量小於0.2至5 µm的表面粗糙度，測量0.1 nm內的差異。其空間分辨率在0.5至4 µm之間達到0.5 λ/ro。該單元可設置用於靜態或動態晶圓測量,並允許在無損和可重復測試中收集數據。TENCOR 7700 Surfscan還提供了粒子檢測、結構篩選、分類、輪廓映射和直方圖等高級數據分析工具。此外，它還提供了傳統的試驗臺和扁平帶。可以在3D中查看數據采集,從而可以準確分析測量結果。這些工具有助於識別開發早期階段的缺陷,使工程師有更大的機會在問題成為全面問題之前糾正任何問題。7700 Surfscan還提供了高級缺陷審查技術,如超級特征檢測、PIN映射和引導特征分析,幫助工程師快速隔離和識別缺陷原因並快速解決問題。總體而言,KLA/TENCOR 7700 Surfscan是確保微電子器件精度和可靠性的寶貴工具。其高精度的機動化晶片級和激光傳感機提供精確的讀數，而其先進的功能則幫助工程師快速檢測和隔離缺陷。