二手 KLA / TENCOR 7700 #9377288 待售

KLA/TENCOR 7700晶圓測試和計量設備是一種多功能、高性能的系統，提供半導體器件的高效測試和計量。它旨在為各種設備提供高效和準確的計量，包括晶體管結構、臨界尺寸、摻雜劑濃度和汙染物測試。該裝置能夠測試直徑最大為18英寸的晶片和八個腔室。KLA 7700機器采用集成的自動晶圓處理程序（AWH）,可對各種設備幾何形狀進行高效、可靠的測試。該工具可容納各種測試測量,包括獨立和模塊化配置的光學和電氣分析。該資產的VersaMetric™ Feature Extractor軟件使研究人員能夠輕松提取特征信息,並通過可自定義的圖形界面屏幕可視化結果。TENCOR 7700型號使用專有的、先進的深紫外線（UV）光源進行測量。這種光源是可調的，以便考慮不同的設備行為，即使在低溫或高溫下測量也能提供準確的數據收集。設備的「焦點變化」（Focus Variation）選項還允許校準光束點尺寸,以適應不同的設備幾何形狀。對於串聯分析，7700系統使用非接觸式電容測量傳感器，能夠檢測導電材料極小的差異。此功能使設備能夠快速測試晶片的電氣和結構缺陷,從而檢測到細微的結構變化或設備隨時間的退化。總體而言，KLA/TENCOR 7700機器為半導體器件提供了廣泛的測試和計量解決方案。它利用各種高級功能（如「VersaMetric™特征提取器」軟件和「焦點變化」選項）,以確保高準確性和高效率的測試。該工具的非接觸式電容測量傳感器能夠對小缺陷進行在線分析和檢測，提高資產結果的準確性。