二手 KLA / TENCOR 7700M Surfscan #293603718 待售

KLA/TENCOR 7700M Surfscan是一種晶圓表面測試和計量設備,旨在在生產環境中優化精度、精度和吞吐量。它可以檢測範圍廣泛的晶圓表面的材料特性，包括介電表面、金屬、鉛框和嵌入結構的晶圓。該系統的核心是一個高分辨率的數字顯微鏡子系統,它可以放大到1800倍來捕獲表面圖像,從而可以對最復雜的表面進行詳細分析。該單元可以自動執行全場地形掃描，並在最復雜的特征上識別參數橫截面特征。為確保高精度,KLA使用Kernaisk- Sondermann映射方法等專有映射技術來映射納米級特征。掃描可捕獲粗糙度、輪廓、步長和線寬,從而能夠對晶圓曲面進行詳細分析。機器甚至可以識別晶片上是否有墊子開口或凸點。然後在掃描廚房中以1nm可重復光柵掃描和叠加圖像的形式傳送獲取的圖像,從而使工藝工程師能夠識別可重復的過程引起的缺陷,並進行參數計量和產量評估。該工具還具有接觸、非接觸和無損測試功能，包括交流和直流測試、電容電壓測量、晶圓電阻測試、隔離表征和直流參數提取。在這些測試中，資產的16位數碼攝影和專門的調查軟件可以檢測晶圓缺陷，預測過程變化對晶圓表面和性能的影響。KLA 7700M Surfscan模型是表征和優化關鍵流程的理想工具,需要高精度、可重復和可擴展的分析。該設備提供了最先進的功能、準確、可重復的過程以及有洞察力的分析,以推動高效可靠的過程設計。