二手 KLA / TENCOR 7700M Surfscan #293604335 待售

KLA/TENCOR 7700M Surfscan是制造和半導體工業中使用的最先進的晶圓測試和計量設備。該系統提供高分辨率成像、表面分析、橫截面和3D分析、非接觸式電氣表征和叠加測量等無損晶圓測試和測量功能。Surfscan 7700M提供高分辨率成像,允許識別極其精細的結構、薄膜和缺陷,從而有助於分析和驗證設備結構、制造過程和設備性能。借助5µm分辨率和集成的500萬像素攝像頭，該單元可以以高達12 fps的速度獲取整個晶片的詳細圖像。它還利用其多焦平面檢測（MFP）功能同時獲取多達10個特征。Surfscan 7700M提供晶片表面分析,允許識別和量化各種基材的表面粗糙度、汙染、缺陷和晶粒結構。其粒子分析特征提供了繪制任何表面的汙染和粒子分布圖的能力。它還具有3D地形模式,使深度和特征分析功能能夠識別缺陷和關鍵特征。該機器提供晶片的非接觸式電氣特性，從而可以表征集成電路或其他設備的電氣特性。其傳輸長度（TL）測量工具測量整個設備的傳輸線長度,而其輸出特性資產測量設備的輸出特性。它還提供了IC叠加測量，從而能夠確定生產過程中IC器件的叠加對準。KLA 7700M Surfscan是一個先進的晶圓測試和計量模型，提供高分辨率成像、表面分析、橫截面和3D分析、非接觸式電氣表征和叠加測量。憑借其能力，它可以用於協助生產和驗證各種晶圓設備和應用。