二手 KLA / TENCOR 7700M Surfscan #293793013 待售

KLA/TENCOR 7700M Surfscan是一種先進的晶圓測試和計量設備,用於半導體制造中的應用缺陷和過程控制。它非常適合7 nm、10 nm和12 nm技術節點等先進的工藝節點,以及多矽、砷化的、和的材料。7700M的核心是其獨特而強大的光學測量系統，它利用頻閃和標準照明來捕捉任何表面的詳細圖像，甚至是嚴重扭曲的表面。它的5倍放大倍率和低測量範圍+/-25 μ m能夠準確地表征芯片上的突出模式等微小特征,其內置質量度量允許它標記任何不符合預期規格的設備。除了成像之外，7700M還有一個功能強大的步驟和重復計量單元，能夠自動映射晶圓上的特征。它利用先進的光學和動態電壓對比度成像（DVCI）以無與倫比的精度量化深度、半徑和側壁角度輪廓,甚至跨扭曲曲面。它的分辨率為7納米，加上先進的2軸級，能夠以極高的精度和速度映射整個晶圓。該7700M還采用了多種其他工具來確保質量和過程控制。它具有高速、精確的定位、掃描排序和模式審查功能,使其能夠快速檢測缺陷並快速識別解決方案。它的全自動機器重新配置功能還允許用戶快速輕松地重新校準,使其非常適合各種復雜的需求。最後,該7700M設計用於超低汙染過程,符合最嚴格的行業標準。其高精度的光學濾光片、空氣軸承級和超純環境使用戶能夠使用最新技術，而不必擔心錯誤的結果或汙染。總而言之,KLA 7700M Surfscan是一種功能極其強大且可靠的晶圓測試和計量工具,其強大的功能集和高性能使其成為高級工藝節點和多樣化材料的理想解決方案。