二手 KLA / TENCOR 7700M Surfscan #59524 待售

KLA/TENCOR 7700M Surfscan是半導體制造商最先進的晶圓測試和計量設備。它利用光學和電氣掃描技術在各種基板上進行晶片測試，從單模測試到全晶片平坦度測量。該系統還包括先進的缺陷檢測和分類。該單元包括一個大型、自動化的7.7 'x 11.2'級，利用精確的X-Y-Theta對齊機。可編程的Z軸確保靜電卡盤和晶片之間的精確、低力接觸，而強大的視覺子系統則允許與晶片卡盤實時對準。高分辨率攝像機可識別對齊目標,確保整個晶片的準確性和可重復性。該工具的光學摩爾資產使用可變角度激光線發生器，快速準確地測量表面輪廓、平坦度和其他臨界表面特性。它使用高達5˚ x 37.5˚的視場，能夠測量深度小於0.1µm至大於7.0µm的平面，精度優於0.3µm。對於晶圓測試，KLA 7700M Surfscan配備了一套先進的電氣測試探針，用於基於接觸的測試和表征。該探頭采用了專利的納米精密對準技術，能夠在多路接觸和非接觸模式下測試電流泄漏、電阻、電感和電容。最後,TENCOR 7700M Surfscan提供了先進的晶圓缺陷識別、分類和分析.使用SEM和AFM技術檢測缺陷,並實時分類缺陷類型。該模型還包括進行復雜缺陷分析所需的軟件，包括自動輪廓跟蹤和粒子識別。總體而言,7700M Surfscan為半導體制造商提供了一個功能強大但又易於訪問的晶圓測試和計量平臺。它結合了先進的光學和電氣掃描技術、精確的對準能力和缺陷分析,使其成為確保當今高度復雜的半導體系統質量和可靠性的理想工具。