二手 KLA / TENCOR 7700M Surfscan #9313795 待售
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ID: 9313795
晶圓大小: 8"
優質的: 1995
Wafer inspection system, 8"
Model no: 313246
Display monitor
Keyboard and trackball
(2) Cassette plates
Wafer transfer robot
Chuck, 8"
JDS UNIPHASE 2214-30SL Laser
Pre-aligner
ADC Board
Motor lamp drive board
Power drawer box
External fan
Exhaust line
Computer:
IDE Control board
SECS Port
CPU Board
CPU Parallel port
Hard Disk Drive (HDD)
PSF Control board
(2) Motor control boards
Interface board
PFE Board
Motor controller board
Power supply: 208 V, 20 A, 60 Hz, 2 Phase
1995 vintage.
KLA/TENCOR 7700M Surfscan是為半導體行業設計的高性能晶圓測試和計量設備。該系統先進的光學、成像和自動化測量功能使其能夠快速測量和分析晶圓的關鍵參數及其地形形狀。KLA 7700M Surfscan使它的用戶能夠可靠地分析和檢查具有高精度和重復性的晶片。TENCOR 7700M Surfscan的核心是利用一種專利掃描機構進行晶圓映射。這個單元使用低噪聲、16位線性CCD相機的線性陣列,水平排列在機器的掃描階段。這些相機測量晶片的電性能,例如氧化物厚度,以及它的地形。該工具高度集成的基板自動對焦功能可在幾秒鐘內進行精確測試。7700M Surfscan具有卓越的光學性能,使其能夠對晶圓表面地形進行快速、準確的3D測量。與傳統的2D系統相比,它提供了高達六倍的精度,還提供了具有4倍變焦和5微米像素大小的真色成像。KLA/TENCOR 7700M Surfscan利用專門的軟件自動化套件自動執行晶圓檢查和制圖任務。它為用戶提供了用於查看和控制資產數據的單個入口點。此軟件簡化了操作,並有效地引導操作員完成流程的每個步驟。它的Web Automation Server特別突出,它包括多種用於數據庫同步和腳本執行的工具。這有助於確保與設備的數據管理相關軟件以及工廠內的其他主機系統進行無縫通信。KLA 7700M Surfscan是一個直觀且經濟高效的系統,能夠提高晶圓測試和計量項目的準確性和可重復性。憑借其精密掃描光學、自動化測量功能和用戶友好軟件的強大組合,該單元是半導體行業晶圓測試和計量項目的理想選擇。
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