二手 KLA / TENCOR 80-00100 #9141855 待售

KLA/TENCOR 80-00100是一種先進的晶片測試和計量設備，用於對半導體晶片上的薄膜層進行精確、自動化的測量和分析。該系統模擬晶片上設備的實際響應，使用戶能夠快速準確地測量晶片上薄膜和結構的厚度和其他特性。它還能夠檢測制造過程中造成的缺陷，支持資格鑒定和工藝控制操作。KLA 80-00100單元由一個主機和一些獨立的頭部模塊組成,每個模塊都包含測量過程所需的組件。大型機采用高精度光學機器獲取數據和數據處理。光學器件能夠在傳輸、反射和發射模式下工作，其設計目的是確保測量的最大準確性和可重復性。頭部模塊包括運動控制器、掃描電動機、光學元件、傳輸和成像傳感器以及照明光源，它們都配合控制頭部相對於晶圓的位置。此外,磁頭能夠安裝許多附件和鏡頭,從而使用戶能夠為特定的測試應用程序配置該工具。TENCOR 80-00100資產隨測試計劃和執行所需軟件一起交付。它能夠進行薄膜和缺陷的組合測量，以及提供精確的三維表面和輪廓映射的IC結構。用戶還可以對模型進行編程，以運行參數跟蹤、過程監控和過程配方的模擬等操作。80-00100設備因精密、精密、自動化運行，在半導體行業得到廣泛應用。它是高度可配置的,並且可以適應各種測試應用程序。它還被認為是可靠的數據輸出，為設備開發和工藝優化提供了寶貴的見解。