二手 KLA / TENCOR 8250 T #9191936 待售

KLA/TENCOR 8250 T是一種晶圓測試和計量設備，設計用於半導體晶圓的高級表征。該系統采用稱為「8K」成像的自動化表面檢查技術，以極高的精度和靈敏度檢測晶圓上表面和側壁的缺陷。它還提供了最高的可用分辨率和信噪比,並且能夠以同樣高的精度檢測非常小的缺陷。它還可以檢測包括突起、凹坑、圖樣不規則等多種類型的缺陷，以及分析復雜和三維特征。KLA 8250 T有一個大的8K自動晶圓檢測區，能夠處理多達86mm的基板。該裝置配有先進的成像光譜儀，用於自動分析晶圓表面。這種光譜儀利用波長範圍在400至40納米（nm）之間的光源，可以訪問廣泛的成像條件，包括各種亞可見、可見和紫外線輻射。此外，這臺機器還配備了自動化對焦工具，最大限度地提高信噪比，最大限度地減少誤差。除了自動化的表面檢查，這種晶圓測試資產還具有一整套計量和表征能力。其高精度的計量模型可以測量薄膜和層的厚度，以及監測晶圓經度，確保絕對均勻性。該設備還可以更精確地測量和控制蝕刻深度和晶圓地形。此外，該系統能夠進行高分辨率激光掃描，生成具有納米尺度分辨率的晶圓表面的3D圖。總體而言，TENCOR 8250 T晶片測試計量單元是半導體晶片高級分析的理想選擇。其8K自動化表面檢測技術確保了檢測晶片缺陷的最高精度和靈敏度。此外，它還可以執行多種計量應用，如測量層的厚度、監控晶圓經度、執行高分辨率激光掃描等。所有這些特性使得8250 T成為先進晶圓測試和計量需求的最佳選擇。