二手 KLA / TENCOR 8450 #9316171 待售
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ID: 9316171
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM)
With PRI AUTOMATION GT6.
KLA/TENCOR 8450晶圓測試和計量設備是一個通用的自動化平臺,專為高級半導體器件的測試和計量應用而設計。該系統甚至能夠識別和表征晶圓表面上最復雜的缺陷。它具有廣泛的非接觸式電容測量技術和強大的掃描功能。KLA 8450單元具有高度精確、自動化的視覺和輕量化功能。它是用先進的成像機使用明場和暗場技術來識別表面TOP原子摻雜物的放置和復雜的缺陷,還可以測量結構特征的原子高度和大小。該工具能夠檢測納米範圍內的復雜模式微電路。它生成詳細的3D可視化,然後用於分析叠加和輪廓註冊信息。該資產具有集成數據采集模型(DAS),該模型針對高速數據捕獲和分析進行了優化。DAS提供快速、準確的結果,並且可以在較長的測試期間存儲大量數據。對於完整的設備解決方案,系統提供可選的NanoMeasurement Unit (NMS)。NMS為精確測量納米結構提供了先進的納米尺度計量學,允許測量尺寸特性。TENCOR 8450機器提供了最高水平的準確性、可靠性和性能。它是一個強大的、可擴展的解決方案,允許靈活和適應各種先進的半導體器件。8450憑借其尖端技術,為半導體技術的測試和計量應用提供了有效的解決方案。
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