二手 KLA / TENCOR Acrotec 6020 #293607188 待售
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KLA/TENCOR Acrotec 6020是一種最先進的晶圓測試和計量設備。它結合了廣泛的高級計量功能和強大的軟件選項,為改進過程控制和獲得對產量限制參數的關鍵見解提供了平臺。它提供了準確和可重復的測量,並提供了最少的操作員幹預、可靠的晶片處理以及自動對準和檢查。該系統具有明場、暗場和激光照明成像工具的組合，分層在5軸級之上，以各種角度精確處理晶片。KLA Acrotec 6020采用精確調諧激光和自動對焦技術，能夠測量薄膜和熱氧化層的厚度和輪廓。它利用最新的成像和信號處理技術、多維頻譜分析以及一系列復雜的算法來提供業界領先的模式識別功能。憑借其完全可配置的硬件設置,TENCOR 6020提供了對許多不同材料和過程的自動非接觸測量。它旨在測量各種尺寸的半導體晶片上的線寬、刻面角、蝕刻深度等參數。該單元還能夠處理最困難的測量，如分析低對比度目標和復雜的結構幾何。此外,該機器還利用高級缺陷檢測工具（如高級模式匹配算法）,來識別和表征可能導致屈服損失的缺陷。它的統計過程控制算法允許及時檢測過程漂移，以及更好地決定產品產量。Acrotec 6020是一種功能強大、準確的晶圓測試和計量工具，提供可靠的數據和可重復的結果。其先進的光學成像和測量能力，加上精密的軟件算法，使其能夠高精度地測量各種材料和工藝參數。KLA/TENCOR 6020具有測量各種參數的能力和卓越的缺陷檢測能力,是當今競爭激烈的半導體行業優化工藝性能、提高產量和控制成本的重要工具。
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